《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB51034-2014）【全文附高清無水印PDF+DOC/Word版下載】

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標(biāo)準(zhǔn)編號：GB51034-2014

標(biāo)準(zhǔn)名稱：多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

英文名稱：Code for design of polysilicon plant

發(fā)布日期：2014-08-27

實(shí)施日期：2015-05-01

發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局

中國標(biāo)準(zhǔn)分類：P76(通信工程)

國際標(biāo)準(zhǔn)分類：29.045(半導(dǎo)體材料)

簡介：本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴(kuò)建和改建多晶硅工廠的工程設(shè)計(jì),也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設(shè)計(jì)。





 

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本文關(guān)鍵詞： 工廠, 設(shè)計(jì), 規(guī)范, GB, 2014, 全文, 高清, 無水印, PDF, DOC, Word版, 下載